röntgen ışınları olarak ta bilinir. bir atoma dışarıdan gelen veya gönderilen yüksek enerjili elektronlar o atomun ilk halkalarından elektronlar koparırlar. atomdan kopan bu elektronun yerine
daha yüksek seviyelerden (üst halkalardan) elektronlar atlayarak kopan elektronun yerindeki boşluğudoldururlar. bu sırada ortaya çıkan enerji fazlalığı x ışını şeklinde dışarı salınır.